原子力顯微鏡NT-MDT NTEGRA

NTEGRA平臺是一個革命性的技術概念，在擁有所有SPM技術：原子力/磁力/靜電力/表面電勢/導電原子/掃描電容/壓電力/納米刻蝕等功能的同時，還能配備近場光學顯微鏡/共聚焦拉曼/外加磁場/超聲原子力/納米壓痕等功能。Prima則是這個平臺中的基礎SPM，可以在此基礎上根據科 研需求提供多達40 中SPM 功能，其中的每種功能都有一套在其專業領域有著杰出表現的獨特配置。可選擇配備獨一無二的雙掃描結構可以將掃描范圍擴展最大到200x200um。

技術參數：
在大氣環境下：
掃描隧道顯微鏡/ 原子力顯微鏡(接觸 +半接觸+非接觸)/橫向力顯微鏡/相位成像/力調制/力譜線/粘附力成像/磁力顯微鏡/靜電力顯 微鏡/掃描電容顯微鏡/開爾文探針顯微鏡/擴展電阻成像/納米壓痕/刻蝕: 原子力顯微鏡(電壓+力)/壓電力模式/超聲原子力/外加磁場/溫度控制/氣氛控制等功能。
在液體環境下：
原子力顯微鏡(接觸+半接觸+非接觸)/橫向力顯微鏡/相位成像/力調制/粘附力成像/力譜/刻蝕

測量頭部：              AFM和SPM可選配液相模式和納米壓痕測量頭
掃描方式：              樣品掃描、針尖掃描、雙掃描
樣品尺寸：              樣品掃描：直徑40mm，厚度15mm。針尖掃描：樣品無限制
XY樣品定位裝置：       移動范圍5×5um，精度5um
掃描范圍：              90×90×9um（帶傳感器/閉環控制）可選配低電壓模式實現原子級分辨
XY方向非線性度：        ≤0.5%（帶傳感器/閉環控制）
Z方向噪音水平
(帶寬1000Hz時的RMS值)： 閉環控制掃描器（典型值0.04nm，最大0.06nm）
光學顯微系統：          配備高數值孔徑物鏡后，分辨率可由3um提升至1um
樣品溫度控制：         室溫~300℃