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石墨烯檢測

  • 微加工及電學性能測試
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微加工及電學性能測試微加工及電學性能測試

微加工及電學性能測試

技術指標

l   SEM掃描成像功能

l   電子束曝光微加工最小尺度20nm

l   探針臺針尖分辨率3μm

l   keithley 2612A雙通道源表

功能及特性

l   石墨烯微納米器件制備

l   IV曲線測試,電阻、遷移率測試

l 光電響應特性測試
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